1 IC終測(cè)環(huán)節(jié)——轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)介紹

　　半導(dǎo)體檢測(cè)從設(shè)計(jì)驗(yàn)證到最終測(cè)試都不可或缺，貫穿 整個(gè)半導(dǎo)體制造過(guò)程。半導(dǎo)體檢測(cè)包括設(shè)計(jì)驗(yàn)證、工藝控 制檢測(cè)、晶圓測(cè)試(CP測(cè)試)以及成品測(cè)試(FT測(cè)試)， 轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)主要應(yīng)用于芯片設(shè)計(jì)檢驗(yàn)階段和成品終測(cè) (FT)環(huán)節(jié)，是終測(cè)環(huán)節(jié)的重要檢測(cè)設(shè)備之一。轉(zhuǎn)塔式分 選機(jī)尤其適用于小型片式半導(dǎo)體分立元件的打標(biāo)、測(cè)試、 分選和包裝，是一種主轉(zhuǎn)盤在中心，各個(gè)測(cè)試工位按照順 序均布在主電機(jī)周圍的一種高速分選機(jī)，通常包含工位有 12個(gè)和36個(gè)等多種型號(hào)，工作流程包括：

　　(1)產(chǎn)品通過(guò)上料結(jié)構(gòu)被送到主電機(jī)轉(zhuǎn)盤上;

　　(2)主電機(jī)轉(zhuǎn)盤吸住芯片并通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)將產(chǎn)品送到下 一 個(gè)工位;

　　(3)上料工位工作;

　　(4)電機(jī)轉(zhuǎn)盤吸取新的一個(gè)產(chǎn)品。 轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)的主要特點(diǎn)有：

　　? 多工位同時(shí)工作，減少生產(chǎn)周期;

　　? 精度高，速度快

　　? 安裝簡(jiǎn)單，占空間小。

　　2 主轉(zhuǎn)盤馬達(dá)評(píng)估三要素

　　轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)是集成了多種工序于一體的高速檢測(cè) 設(shè)備，隨著行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)日益激烈，對(duì)于設(shè)備的要求也越來(lái)越 高，整機(jī)來(lái)看，產(chǎn)能、故障停機(jī)率、檢測(cè)精度是評(píng)判塔式

　　分選機(jī)重要三要素。那么，主轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)的選擇對(duì)于轉(zhuǎn)塔式 分選機(jī)來(lái)說(shuō)也是重中之重了，它能在提升產(chǎn)能的同時(shí)又能 保證檢測(cè)良品率。目前行業(yè)中最快的設(shè)備每小時(shí)可以完成 50-60K甚至更高的芯片檢測(cè)速度。產(chǎn)能、故障停機(jī)率、檢 測(cè)精度這三大要素體現(xiàn)在主轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)上分別是：

　　? 產(chǎn)能=高速、高加減速、高剛性;

　　? 故障停機(jī)率=穩(wěn)定性;

　　? 檢測(cè)精度=重復(fù)定位精度。

　　常規(guī)轉(zhuǎn)塔式測(cè)試分選機(jī)的技術(shù)要求包括：

　　? 16-36個(gè)工位/旋轉(zhuǎn)角度：22.5°~10 °;

　　? 單工位轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)間：16~24ms;

　　? 轉(zhuǎn)盤慣量：0.010~0.020 kg.m2;

　　? 停止時(shí)間：35~60ms;

　　? 產(chǎn)能：40~60 k UPH;

　　? 向下/向上Z軸的平均移動(dòng)時(shí)間：6~20ms。

　　3 奧茵紳主轉(zhuǎn)盤直驅(qū)方案

　　主轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)是高速分選機(jī)最重要的運(yùn)動(dòng)部件之一，其 中，主轉(zhuǎn)盤驅(qū)動(dòng)狀況取決于選取的主電機(jī)性能，奧茵紳DD 馬達(dá)高速系列能滿足轉(zhuǎn)塔應(yīng)用的此類運(yùn)動(dòng)曲線，非常適用 于高精度的移動(dòng)、速度響應(yīng)要求高和對(duì)端跳要求較高的場(chǎng) 合。從運(yùn)動(dòng)控制的角度看，該過(guò)程在技術(shù)上極具挑戰(zhàn)性， 如：它需要轉(zhuǎn)塔電機(jī)以非常高的速度運(yùn)行并承受振動(dòng)。而 搭載奧茵紳為高速分選機(jī)直驅(qū)馬達(dá)所定制的伺服驅(qū)動(dòng)器， 則可以使速度和穩(wěn)定性進(jìn)一步得到提高。