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經(jīng)典案例分享: 轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)主轉(zhuǎn)盤直驅(qū)方案

文:文 / 奧茵紳智能裝備(蘇州)有限公司 | 2024年第五期 (0) | (0)

  1 IC終測(cè)環(huán)節(jié)——轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)介紹

  半導(dǎo)體檢測(cè)從設(shè)計(jì)驗(yàn)證到最終測(cè)試都不可或缺,貫穿 整個(gè)半導(dǎo)體制造過程。半導(dǎo)體檢測(cè)包括設(shè)計(jì)驗(yàn)證、工藝控 制檢測(cè)、晶圓測(cè)試(CP測(cè)試)以及成品測(cè)試(FT測(cè)試), 轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)主要應(yīng)用于芯片設(shè)計(jì)檢驗(yàn)階段和成品終測(cè) (FT)環(huán)節(jié),是終測(cè)環(huán)節(jié)的重要檢測(cè)設(shè)備之一。轉(zhuǎn)塔式分 選機(jī)尤其適用于小型片式半導(dǎo)體分立元件的打標(biāo)、測(cè)試、 分選和包裝,是一種主轉(zhuǎn)盤在中心,各個(gè)測(cè)試工位按照順 序均布在主電機(jī)周圍的一種高速分選機(jī),通常包含工位有 12個(gè)和36個(gè)等多種型號(hào),工作流程包括:

  (1)產(chǎn)品通過上料結(jié)構(gòu)被送到主電機(jī)轉(zhuǎn)盤上;

  (2)主電機(jī)轉(zhuǎn)盤吸住芯片并通過轉(zhuǎn)動(dòng)將產(chǎn)品送到下 一 個(gè)工位;

  (3)上料工位工作;

  (4)電機(jī)轉(zhuǎn)盤吸取新的一個(gè)產(chǎn)品。 轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)的主要特點(diǎn)有:

  ? 多工位同時(shí)工作,減少生產(chǎn)周期;

  ? 精度高,速度快

  ? 安裝簡(jiǎn)單,占空間小。

半導(dǎo)體檢測(cè)

  2 主轉(zhuǎn)盤馬達(dá)評(píng)估三要素

  轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)是集成了多種工序于一體的高速檢測(cè) 設(shè)備,隨著行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)日益激烈,對(duì)于設(shè)備的要求也越來(lái)越 高,整機(jī)來(lái)看,產(chǎn)能、故障停機(jī)率、檢測(cè)精度是評(píng)判塔式

  分選機(jī)重要三要素。那么,主轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)的選擇對(duì)于轉(zhuǎn)塔式 分選機(jī)來(lái)說也是重中之重了,它能在提升產(chǎn)能的同時(shí)又能 保證檢測(cè)良品率。目前行業(yè)中最快的設(shè)備每小時(shí)可以完成 50-60K甚至更高的芯片檢測(cè)速度。產(chǎn)能、故障停機(jī)率、檢 測(cè)精度這三大要素體現(xiàn)在主轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)上分別是:

  ? 產(chǎn)能=高速、高加減速、高剛性;

  ? 故障停機(jī)率=穩(wěn)定性;

  ? 檢測(cè)精度=重復(fù)定位精度。

  常規(guī)轉(zhuǎn)塔式測(cè)試分選機(jī)的技術(shù)要求包括:

  ? 16-36個(gè)工位/旋轉(zhuǎn)角度:22.5°~10 °;

  ? 單工位轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)間:16~24ms;

  ? 轉(zhuǎn)盤慣量:0.010~0.020 kg.m2;

  ? 停止時(shí)間:35~60ms;

  ? 產(chǎn)能:40~60 k UPH;

  ? 向下/向上Z軸的平均移動(dòng)時(shí)間:6~20ms。

DD馬達(dá)

  3 奧茵紳主轉(zhuǎn)盤直驅(qū)方案

  主轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)是高速分選機(jī)最重要的運(yùn)動(dòng)部件之一,其 中,主轉(zhuǎn)盤驅(qū)動(dòng)狀況取決于選取的主電機(jī)性能,奧茵紳DD 馬達(dá)高速系列能滿足轉(zhuǎn)塔應(yīng)用的此類運(yùn)動(dòng)曲線,非常適用 于高精度的移動(dòng)、速度響應(yīng)要求高和對(duì)端跳要求較高的場(chǎng) 合。從運(yùn)動(dòng)控制的角度看,該過程在技術(shù)上極具挑戰(zhàn)性, 如:它需要轉(zhuǎn)塔電機(jī)以非常高的速度運(yùn)行并承受振動(dòng)。而 搭載奧茵紳為高速分選機(jī)直驅(qū)馬達(dá)所定制的伺服驅(qū)動(dòng)器, 則可以使速度和穩(wěn)定性進(jìn)一步得到提高。

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