本文的目的在于優(yōu)化甲醛氣體傳感器。微型甲醛氣體傳感器設(shè)計(jì)是以石英玻璃當(dāng)作基材,白金（Pt）被當(dāng)作微型加熱器電阻來加熱感測層,并以氧化鎳（NiO）薄膜作為感測層。當(dāng)環(huán)境內(nèi)有甲醛氣體存在時,NiO薄膜層上導(dǎo)電度會增加,因而導(dǎo)致感測層電阻值降低。此微傳感器,膜厚為0.34μm,在300℃反應(yīng)時間只需6秒,靈敏度可達(dá)13.5 kΩ/ppb,最低偵測限度可以量測到40 ppb。