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高溫壓力傳感器的熱模擬

發(fā)布時間：2013/9/5 17:10:13

文件類型：pdf

資料大小：283.55KB

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【高溫壓力傳感器的熱模擬】

資料介紹

探討了一種多晶硅高溫壓力傳感器的設(shè)計方法，論述了其較一般高溫壓力傳感器的優(yōu)點及其制造工藝流程。重點利用ANSYS軟件對模型進行了熱模擬，比較了AlN，SiO2與Al2O3分別作為絕緣散熱層時模型中的溫度分布，并且比較了散熱層不同厚度時力敏電阻中心點的溫度。

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