直驅(qū)系統(tǒng)——上銀單臂晶圓機(jī)器人資料
發(fā)布時(shí)間：2019/6/20 16:59:30
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【直驅(qū)系統(tǒng)——上銀單臂晶圓機(jī)器人資料】
RWS單臂晶圓機(jī)器人采用上銀自制高精密、高剛性直驅(qū)馬達(dá)，重復(fù)精度可達(dá)±0.02mm。
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