中國首臺代表國際尖端水平的薄膜太陽能電池關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備——等離子體增強型化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD）日前在上海成功下線，被視為我國在新能源高端裝備領(lǐng)域取得的重大突破。“中國造”的PECVD性能領(lǐng)先于國外同類產(chǎn)品，價格大幅低于后者，國內(nèi)薄膜太陽能電池產(chǎn)業(yè)化進程有望提速。
　　據(jù)悉，由上海理想能源設(shè)備公司研制并首次下線的等離子體增強型化學(xué)氣相沉積設(shè)備，是制造非晶微晶疊層薄膜電池最關(guān)鍵的設(shè)備。采用非晶微晶疊層硅薄膜太陽能電池結(jié)構(gòu)不僅提高轉(zhuǎn)換效率，而且克服只有非晶硅薄膜的低轉(zhuǎn)換效率和較嚴重的光致衰減效應(yīng)。理想能源的PECVD采用了創(chuàng)新的超高頻射頻技術(shù)、精密的真空和溫度控制技術(shù)，快速的自動傳輸技術(shù)，和多腔多片的反應(yīng)腔系統(tǒng)，大大提高了產(chǎn)能，其產(chǎn)品性能優(yōu)越，而售價遠低于同等的進口設(shè)備。
　　據(jù)上海市經(jīng)濟信息化委有關(guān)負責(zé)同志介紹，2010年上海太陽能光伏產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)快速發(fā)展，將達到130億元產(chǎn)業(yè)規(guī)模，比去年增長62.5%。尚德“冥王星”、晶澳“賽秀”等一批高效太陽能電池產(chǎn)業(yè)化項目在滬實施擴產(chǎn)計劃。該市全市已形成太陽能電池或組件產(chǎn)能超過1.7GW，比2009年增長150%。尚德“冥王星”高效太陽能晶硅電池、晶澳、中電擴產(chǎn)高效太陽能電池組件等一批項目加快建成；產(chǎn)業(yè)能級不斷提升，太陽能薄膜核心設(shè)備技術(shù)實現(xiàn)首臺業(yè)績等一批重大技術(shù)形成突破。產(chǎn)業(yè)基地建設(shè)和招商引資成果顯著，奉賢、浦東、閔行、松江等區(qū)進一步加大了新能源產(chǎn)業(yè)基地建設(shè)力度，引進了一批新能源高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化項目，總投資超過100億元。
　　在太陽能光伏產(chǎn)業(yè)鏈上，關(guān)鍵設(shè)備的制造處于最高端，是有效降低成本，立足于國際太陽能光伏市場，實現(xiàn)太陽能發(fā)電大面積推廣的關(guān)鍵所在。上海通過積極推進高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化，大力扶持光伏設(shè)備國產(chǎn)化，并將之作為該市經(jīng)濟結(jié)構(gòu)調(diào)整和產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級的重要舉措。由資深留美博士錢學(xué)煜等領(lǐng)銜，聚集20多名曾服務(wù)于國際一流企業(yè)、具有豐富經(jīng)驗的設(shè)備、工藝和管理專家，于2009年8月成立理想能源設(shè)備制造有限公司，成為光伏設(shè)備國產(chǎn)化的“先行者”。