真空內工件的測量問題

在精密器件生產行業(yè)，產品在生產過程中需要進行真空隔離來進行。如半導體、精密電路板塊等產品的生產過程中，需要在密封的玻璃空間內進行控制生產。而在生產中往往需要對產品、工件進行定位，這就需要測量其位移和距離大小。由于被測物用玻璃隔離了，傳統(tǒng)的卡尺等接觸測量不能實現(xiàn)，需要使用非接觸式的測量方法。使用ZLDS100測距傳感器可以實現(xiàn)密封空間里的物體的非接觸測量。

ZLDS100測距傳感器方法，可以直接穿過玻璃測量玻璃里面物體的距離。由于ZLDS100的測量精度可以達到微米級，非常適合于半導體、精密元器件的在線生產檢測。

產品工件位置測量

工件在密封玻璃內進行加工或傳送是，需要測定其空間位置，以免工件偏離作業(yè)位置和移動軌道。如下圖所示，在密封工件的玻璃外安裝三個ZLDS100測距傳感器，就可以實現(xiàn)對工件左、右、上的距離測量，再把測得值減去工件原來安放的距離值，就可以得到工件的三維坐標變化量。作業(yè)人員或者機械系統(tǒng)根據坐標變化重新調整工件的位置。

ZLDS100對密封玻璃內工件的檢測

產品工件尺寸大小測量：

對一些尺寸大小要求很嚴格的工件產品，測距傳感器ZLDS100可以實現(xiàn)對其尺寸大小的測量，例如要測量工件的厚度值，可以在與工件長邊的兩個側面安裝兩個ZLDS100傳感器，兩個傳感器所測的到工件的距離為A、B，兩個傳感器之間距離為C，用C-(A+B)即可得工件的厚度。

產品工件輪廓測量

對于需要測量輪廓的工件產品，ZLDS100組成的測量系統(tǒng)同樣可以把工件的輪廓通過圖形顯示出來，工作人員可以通過輪廓圖形監(jiān)控工件產品的輪廓形狀，系統(tǒng)配有輪廓限度值報警，輪廓值變異超出限度值時自動報警，減輕工作人員工作量，提高生產效率。

使用ZLDS100測量系統(tǒng)進行測量的距離、尺寸、輪廓數(shù)據以及圖像都可以自動存儲，方便生產、工作人員日后的管理統(tǒng)計分析。