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1.結構緊湊的納米平移臺
2.大行程實現納米定位
3.高分辨率(1納米),重復定位精度(50納米),定位精度(250納米)
4.3納米的位置穩(wěn)定性
5.抗爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動態(tài)特性
1.實現大行程納米定位
2.高分辨率(1納米),重復定位精度(75納米),定位精度(250納米)
3.1納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
6.8種行程和精度范圍可選
2.高分辨率(1納米),重復定位精度(75納米),定位精度(250納米)
3.1納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
6.8種行程和精度范圍可選
1.大行程實現納米定位
2.高分辨率(2納米),重復定位精度(75納米),定位精度(300納米)
3.2納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
2.高分辨率(2納米),重復定位精度(75納米),定位精度(300納米)
3.2納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性

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