

平面式氣浮運動臺
企業(yè)信息
應用領(lǐng)域
QFHDS系列平面式氣浮運動臺,采用有限元分析優(yōu)化的氣浮軸承補償設(shè)計技術(shù),提高精度的同時,也提高動態(tài)性能,用于晶圓加工及檢測、大尺寸飛秒激光加工、測試測量等行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點
QFHDS系列龍門平面氣浮采用瑞邦精控獨創(chuàng)技術(shù),小孔節(jié)流和多孔氣浮相結(jié)合的方式,極大提高系統(tǒng)的剛度和穩(wěn)定性。平面式氣浮結(jié)構(gòu),使XY軸運動結(jié)構(gòu)共面,反饋傳感器在同一個水平面,相當于單軸運動,減小因疊層引起的阿貝誤差。此結(jié)構(gòu)具有高速響應頻率及位置穩(wěn)定性,開發(fā)的獨特氣浮結(jié)構(gòu),提高了剛性和負載能力,以滿足高動態(tài)響應的要求,可實現(xiàn)
高速運動和快速的位置整定。
精度性能
采用無鐵芯直線電機驅(qū)動,交叉解耦控制算法保證雙驅(qū)軸的運動同步,氣浮導軌實現(xiàn)無摩擦、無振動地平滑移動,重復定位精度±50nm,直線度±0.1μm,平面度±0.2μm,Pitch Yaw ±0.5arc sec滿足超精密加工或測量,由于非接觸式結(jié)構(gòu),伺服反饋的跟隨誤差有了質(zhì)地提升,定位精度和重復精度得到了顯著提高。
線纜管理
使用高質(zhì)量的無塵線纜,優(yōu)化管線彎曲半徑,防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能,更適合在潔凈車間內(nèi)使用。
定制化
根據(jù)應用可安裝轉(zhuǎn)臺或晶圓裝卸用的夾具。氣浮導軌可定制陶瓷材質(zhì),重復定位精度±15nm??蛇x用激光尺或激光干涉儀閉環(huán)反饋,提升精度性能??商峁┍чl功能,適合高抖動要求的應用。
規(guī)格指標
型號 | 單位 | QFHDS-300-300 | QFHDS-500-500 | QFHDS-800-800 | ||||
軸系 | — | X | Y | X | Y | X | Y | |
行程 | mm | 300 | 300 | 500 | 500 | 800 | 800 | |
補償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.25 | ±0.25 | |||
標準值 | ±0.2 | ±0.5 | ±0.5 | |||||
雙向重復定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.1 | |||
標準值 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | |||||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.2 | |||
標準值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | |||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.2 | ±0.25 | ±0.3 | |||
標準值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | |||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±1 | |||
標準值 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | |||||
正交性 | Plus (1) | arc sec | 2 | |||||
標準值 | 5 | |||||||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5(選配) | ||||||
最大速度 (空載) (4) | m/s | 1 | ||||||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 5,(10, 20, 30 定制) | ||||||
最大負載 | kg | 50 |
注:
以上為單軸精度指標,在潔凈間內(nèi)測試,溫度20℃±0.5℃,濕度40%~60%RH,振動等級VC-F,測試點在負載板上25mm處,測試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法,多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關(guān),環(huán)境的變化會導致精度變化,如要求非標準測試,請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標,是標準值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標,最大速度和加速度取決于負載大小。

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