半導(dǎo)體光伏設(shè)備風(fēng)囊泵是指使用風(fēng)袋或氣袋技術(shù)來進(jìn)行氣體傳輸?shù)谋?。在半?dǎo)體光伏設(shè)備中，風(fēng)囊泵通常被用于氣體傳輸和真空抽取等應(yīng)用。

　　風(fēng)袋泵利用可變?nèi)莘e的氣囊或風(fēng)袋來吸氣和排氣，通過周期性地變化氣袋的體積來產(chǎn)生氣流。這種泵的運(yùn)行原理類似于傳統(tǒng)的活塞泵，但不需要機(jī)械部件的直接接觸，因此具有更低的摩擦損耗和更長的使用壽命。

　　在半導(dǎo)體光伏設(shè)備中，風(fēng)袋泵通常用于氣體傳輸和氣體吸附等過程。由于風(fēng)袋泵無油潤滑，且排氣干凈無污染，因此非常適合用于對氣體純凈度要求較高的應(yīng)用中，如半導(dǎo)體加工和光伏設(shè)備制造。此外，風(fēng)袋泵還可以實(shí)現(xiàn)較高的真空度，可滿足半導(dǎo)體光伏設(shè)備中對真空度要求嚴(yán)格的工藝需求。