1．白光測量儀的簡介： 　 白光表面形狀精密測量儀采用光學干涉技術，精密測量樣品的表面形狀分布。它可廣泛用于測量MEMS基板，半導體集成電路基板以及平板顯示器面板等樣品的表面三維立體形狀的微細結構。與同類測量儀器相比，具有下列特征： ◆非接觸、非破壞測量 ◆高速測量, 最高速度可達60μm/s ◆高穩(wěn)定性，可用于生產線的實時測量 ◆高精度，可以測量各種臺階、溝槽等復雜表面結構 ◆高效能，可同時測量透明膜上下表面結構 ◆應用范圍廣，既可適于測量規(guī)整的表面形狀（玻璃、硅片等），也可適于測量不規(guī)整的表面形狀（紙類、金屬、塑料等） 2．白光測量儀的性能參數： 儀器型號 　　 PR-L05 II型 測量范圍 　　10mm 測量原理 　　白光干涉法 垂直分解能 　　 <10nm 水平分解能 　　0.43μm 測量面積 　　≥185×140μm 測量重復性 　 ≤2 % @1σ （標準臺階） 垂直掃描速度 　 標準為30μm/s