1、標定板基材概述 材料 （Material）：有機玻璃，石英玻璃，陶瓷； 最大尺寸（Max Size）：600mm×800mm； 厚度（Thickness）：1.6mm，2.3mm，3.0mm，4.8mm等，誤差±0.2mm； 光學密度（Optical Density，λ=450nm）：空位3.0±0.3，鍍位±0.3； 反射率（Reflectivity，λ=450nm）：空位10±5%，鍍位±2%； 2、標定板精度概述 總長精度：±5.0μm； 圖形尺寸精度：±1.0μm ～ ±3.0μm； 圖形位置精度：±1.0μm ～ ±3.0μm； 線條精度：±1μm； 縫寬均勻度：≤1μm； 3、標定板常用圖樣示例 4、標準產品 ※ 標定板厚度可選1.6mm，2.3mm，3.0mm，4.8mm； ※ 1級精度指圖形尺寸精度與圖形位置精度為±1.0μm，2級精度指圖形尺寸精度與圖形位置精度±2.0μm，3級精度指圖形尺寸精度與圖形位置精度為±3.0μm； ※ 產品刻畫圖案可在標準產品基礎上定制。