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集成電路照排平臺(tái)高精度定位傳感器
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集成電路照排平臺(tái)高精度定位傳感器

產(chǎn)品型號(hào)

廠商性質(zhì)代理商 系統(tǒng)集成商

公司名稱(chēng)深圳市真尚有科技有限公司

地       址深圳市南山區(qū)南山大道中油大廈2210

聯(lián)系人:江山 0755-26528100

聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)說(shuō)明是在傳動(dòng)網(wǎng)上看到的,謝謝!

企業(yè)信息

普通會(huì)員19

公司類(lèi)型:代理商 系統(tǒng)集成商

主運(yùn)營(yíng):激光位移傳感器、電容位移傳感器、電感位移傳感器...

所在地區(qū):深圳市

注冊(cè)時(shí)間:2007-03-10

產(chǎn)品介紹
集成電路照排平臺(tái)高精度定位電渦流位移傳感器 在關(guān)鍵的Z軸高度調(diào)整中,支撐圓晶片的平臺(tái)必須非常精確地處于焦點(diǎn)平面(次原子級(jí))。凱盟系統(tǒng)精確測(cè)量Z軸平臺(tái)的位置(如圖)并輸出模擬信號(hào)(或可選的數(shù)字接口)。此傳感器的高精度、重復(fù)性和分辨率可讓用戶在平臺(tái)定位和聚焦上形成閉環(huán)。用凱盟公司15N傳感器頭和前置器SMU9000組成。 主要指標(biāo): 測(cè)量對(duì)象:鋁 量程起點(diǎn):0.25mm 量程:25&micro;m 非線性:±1% 分辨率:<25x10︿-11M 靈敏度:0.4V/&micro;m 電源:+12~+30V,15MA/每通道 頻響:0-10KHZ 輸出:0-10V 溫漂:<0.5&micro;m/℃

以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),中國(guó)傳動(dòng)網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。 溫馨提示:為規(guī)避購(gòu)買(mǎi)風(fēng)險(xiǎn),建議您在購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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