返回首頁 
集成電路照排平臺高精度定位傳感器
企業(yè)信息
普通會員第19年
公司類型：代理商 系統(tǒng)集成商
主運營：激光位移傳感器、電容位移傳感器、電感位移傳感器...
所在地區(qū)：深圳市
注冊時間：2007-03-10
同類優(yōu)質產品
更多+
產品分類
產品新聞
產品介紹
集成電路照排平臺高精度定位電渦流位移傳感器
在關鍵的Z軸高度調整中，支撐圓晶片的平臺必須非常精確地處于焦點平面（次原子級）。凱盟系統(tǒng)精確測量Z軸平臺的位置（如圖）并輸出模擬信號（或可選的數(shù)字接口）。此傳感器的高精度、重復性和分辨率可讓用戶在平臺定位和聚焦上形成閉環(huán)。用凱盟公司15N傳感器頭和前置器SMU9000組成。
主要指標：
測量對象：鋁
量程起點：0.25mm
量程：25µm
非線性：±1％
分辨率：<25x10︿-11M
靈敏度：0.4V/µm
電源：+12～+30V，15MA/每通道
頻響：0－10KHZ
輸出：0-10V
溫漂：<0.5µm/℃
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責，中國傳動網對此不承擔任何保證責任。 溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。
推薦產品
更多+
真尚有 電容傳感器
真尚有 柴油機轉速傳
真尚有 激光傳感器
OTS50激光玻璃厚度測
路面平整度車轍測量激
ZLDS100-S激光多普勒
網站客服
粵公網安備 44030402000946號