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集成電路照排平臺(tái)高精度定位傳感器
產(chǎn)品型號(hào)
廠商性質(zhì)代理商 系統(tǒng)集成商
公司名稱(chēng)深圳市真尚有科技有限公司
地 址深圳市南山區(qū)南山大道中油大廈2210
企業(yè)信息
普通會(huì)員第19年
公司類(lèi)型：代理商 系統(tǒng)集成商
主運(yùn)營(yíng)：激光位移傳感器、電容位移傳感器、電感位移傳感器...
所在地區(qū)：深圳市
注冊(cè)時(shí)間：2007-03-10
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產(chǎn)品新聞
產(chǎn)品介紹
集成電路照排平臺(tái)高精度定位電渦流位移傳感器
在關(guān)鍵的Z軸高度調(diào)整中，支撐圓晶片的平臺(tái)必須非常精確地處于焦點(diǎn)平面（次原子級(jí)）。凱盟系統(tǒng)精確測(cè)量Z軸平臺(tái)的位置（如圖）并輸出模擬信號(hào)（或可選的數(shù)字接口）。此傳感器的高精度、重復(fù)性和分辨率可讓用戶在平臺(tái)定位和聚焦上形成閉環(huán)。用凱盟公司15N傳感器頭和前置器SMU9000組成。
主要指標(biāo)：
測(cè)量對(duì)象：鋁
量程起點(diǎn)：0.25mm
量程：25µm
非線性：±1％
分辨率：<25x10︿-11M
靈敏度：0.4V/µm
電源：+12～+30V，15MA/每通道
頻響：0－10KHZ
輸出：0-10V
溫漂：<0.5µm/℃
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，中國(guó)傳動(dòng)網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。 溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買(mǎi)風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
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