德國(guó)C1光譜共焦納米級(jí)位移計(jì)
傳感器測(cè)量系統(tǒng)基于光譜共焦原理,由光學(xué)頭和控制器組成,之間通過(guò)一根光纜連接。光纜長(zhǎng)度可根據(jù)用戶需要配制,標(biāo)準(zhǔn)2米,最長(zhǎng)10米.

原理:
鹵素?zé)舭l(fā)出的全色白光由光學(xué)透鏡組分離成色譜,色譜中被精確聚焦的單色光沿軸向紅、黃、綠、有序精確排列，每一個(gè)單色光的波長(zhǎng)代表一個(gè)精確的空間軸向位置。測(cè)量時(shí)，單色光在被測(cè)體表面形成的焦點(diǎn)，被反射到控制器中光譜空間濾波器檢出,由頻譜分析儀處理，被測(cè)體表面這一聚焦點(diǎn)上的光波波長(zhǎng)被精確檢出，軸向空間位置也就被精確檢出。其波長(zhǎng)測(cè)量原理決定分辨率高達(dá)納米級(jí)。

特點(diǎn)：
＊納米級(jí)分辨率；與光強(qiáng)度無(wú)關(guān),即于被測(cè)體反射系數(shù)無(wú)關(guān);
＊適用各種金屬、非金屬，以及透明材料的表面位置、位移測(cè)量。并與被測(cè)體表的亮暗無(wú)關(guān)；
＊精致緊湊光路結(jié)構(gòu)，光學(xué)傳感器頭離控制器幾米遠(yuǎn),給使用帶來(lái)方便；
＊單向可測(cè)玻璃厚度、透鏡厚度,以及透明薄膜厚度測(cè)量；
＊與三角反射法不同,幾乎無(wú)反射角要求,且無(wú)反射平面阻擋之影響,因此可用于小孔深度測(cè)量；
＊對(duì)環(huán)境要求不高:無(wú)需附加背景光,對(duì)被測(cè)體溫度不敏感, 對(duì)被測(cè)體表面色差和紋理不敏感；

應(yīng)用:
納米級(jí)的測(cè)量精度，對(duì)被測(cè)表面無(wú)特殊要求,無(wú)論是漫反射或全反射被測(cè)表面都能檢測(cè)。特別適合玻璃等透明物體表面平整度，及厚度測(cè)量；小孔深度測(cè)量；透明、非透明液面測(cè)量。

指標(biāo)：
量程0.3 mm
分辨率25 nm
線性0.5%
重復(fù)性10 nm
測(cè)量間隙4 mm
光源鹵素?zé)?5W
光斑直徑9µm
測(cè)量垂直度90º±25º
響應(yīng)：30HZ～1500HZ
輸出：數(shù)據(jù)接RS232，模擬0－10V
重量：傳感器約30g，儀器約4Kg