高精度單軸傾角傳感器SCA103T系列是基于3DMEMS的高精度單軸傾角傳感器，它提供了水平測量儀表級別的性能。傳感器的傳感元件在測量時需要與測量平臺保持平行，并且傳感器雙軸需相互垂直。低溫度依賴性、高分辨率、低噪聲和健全的傳感元件設計讓SCA103T傾角傳感器成為水平測量儀器的不二選擇。VTI的傾角傳感器對于振動不靈敏，因為他們都在傳感元件內(nèi)部增加了阻尼，并且能承受高達20，000g的機械沖擊力。