導語:這里主要介紹半導體其中的清洗設備——半導體濕法腐蝕機。清洗設備必須保證優(yōu)質(zhì)的清洗效果,無交叉感染的風險,準確地供給化學藥液,可廣泛應用于不同種晶圓的清洗工藝。
在許多半導體元器件的制造中,整個制程的環(huán)節(jié)緊緊相扣, 每一個步驟對于良率的生產(chǎn)起到一定的作用。這里主要介紹半導體其中的清洗設備——半導體濕法腐蝕機。清洗設備必須保證優(yōu)質(zhì)的清洗效果,無交叉感染的風險,準確地供給化學藥液,可廣泛應用于不同種晶圓的清洗工藝。
半導體清洗設備: 半導體濕法腐蝕機
生產(chǎn)半導體器件專用清洗設備,需要檢測清洗液的高低液位。因清洗液具有強酸或強堿的腐蝕性,所以需要非接觸方式檢測。
清洗液多為強酸,有時也會有強堿,清洗槽材質(zhì)為聚乙烯(PE)或聚四氟乙烯(PTFE)。
由于不直接接觸腐蝕性的液體, 避免因為接觸造成表面殼體腐蝕, 進而影響到使用壽命, 因此伊瑪?shù)碾娙菔?a href="http://m.y3602.cn/p/sensor/" target="_blank" rel="nofollow">傳感器本身必須具備優(yōu)良的穿透能力,即使容器壁厚10mm, 也能輕松穿透, 感應到容器內(nèi)的液體。
用戶以前使用投入式差壓液位計,對傳感器耐腐蝕性要求很高,成本也較高。伊瑪?shù)膽霉こ處熗扑]使用M30電容接近開關CB0006,并做了一些應用工藝的升級,替客戶大大降低了成本。
該用戶在外部安裝架上的精巧設計,具備長槽,可以很方便地調(diào)整電容傳感器的高度,且不用考慮產(chǎn)品腐蝕問題。
伊瑪電容式接近傳感器
伊瑪M30電容接近開關CB0006具有以下特點:
? 非接觸式安裝;
? 另有防腐蝕材質(zhì), 也能直接接觸介質(zhì);
? 可穿透非金屬的容器,如塑料、玻璃,無須接觸到容器內(nèi)的腐蝕性液體;
? 多種尺寸可選:M18/M30/?34/扁平式;
? 偵測物可包括:液體、固體、粉體;
? 可視為液位傳感器:適用于高低位的液位檢測。
伊瑪電容接近開關
半導體的清洗工藝主要用于去除芯片制造中上一道工序所遺留的超微細顆粒污染物、金屬殘留、有機物殘留物, 去除光阻掩膜或殘留,也可根據(jù)需要進行硅氧化膜、氮化硅或金屬等薄膜材料的濕法腐蝕,為下一步工序準備好良好的表面條件。清洗一般采用化學和物理作用力相結合的方法實現(xiàn),在清洗時既要有很好的腐蝕選擇性,高效地去除超微細顆粒物及各種殘留物的能力,又不能對芯片表面的精細圖形結構造成損傷。濕法腐蝕速率,腐蝕均勻性,晶圓正、反面交叉污染的控制,清洗效率等都是至關重要的工藝要素。目前市場上可提供多種類型的單片清洗設備和槽式清洗設備, 并已被廣泛應用于半導體、集成電路、先進封裝、微機電系統(tǒng)、電力電子、化合物和功率器件等領域。
中傳動網(wǎng)版權與免責聲明:
凡本網(wǎng)注明[來源:中國傳動網(wǎng)]的所有文字、圖片、音視和視頻文件,版權均為中國傳動網(wǎng)(m.y3602.cn)獨家所有。如需轉(zhuǎn)載請與0755-82949061聯(lián)系。任何媒體、網(wǎng)站或個人轉(zhuǎn)載使用時須注明來源“中國傳動網(wǎng)”,違反者本網(wǎng)將追究其法律責任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明其他來源的稿件,均來自互聯(lián)網(wǎng)或業(yè)內(nèi)投稿人士,版權屬于原版權人。轉(zhuǎn)載請保留稿件來源及作者,禁止擅自篡改,違者自負版權法律責任。
如涉及作品內(nèi)容、版權等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關權利。

關注伺服與運動控制公眾號獲取更多資訊

關注直驅(qū)與傳動公眾號獲取更多資訊

關注中國傳動網(wǎng)公眾號獲取更多資訊
- 運動控制
- 伺服系統(tǒng)
- 機器視覺
- 機械傳動
- 編碼器
- 直驅(qū)系統(tǒng)
- 工業(yè)電源
- 電力電子
- 工業(yè)互聯(lián)
- 高壓變頻器
- 中低壓變頻器
- 傳感器
- 人機界面
- PLC
- 電氣聯(lián)接
- 工業(yè)機器人
- 低壓電器
- 機柜