北方微電子公司近期發(fā)布了HSE200高密度等離子刻蝕機，致力于為MEMS領域提供專業(yè)的設備工藝解決方案，HSE200高密度等離子刻蝕機一經(jīng)推出便以其優(yōu)越的技術性能獲得客戶信任，在機臺發(fā)布首月就成功實現(xiàn)機臺銷售，至今已獲得多家客戶訂單。
近年來，隨著智能手機、汽車電子、醫(yī)療電子、物聯(lián)網(wǎng)等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對MEMS產(chǎn)品器件的需求量將會持續(xù)攀升，中國MEMS產(chǎn)業(yè)也逐漸開始崛起。
北方微電子公司全新亮相的HSE200高密度等離子刻蝕機是針對MEMS領域量身打造的深硅刻蝕設備。該刻蝕機采用了全新的技術路線，開發(fā)了高自由基密度的立體等離子源;采用高功率控溫系統(tǒng)可實現(xiàn)二倍于常規(guī)工藝的刻蝕速率;集成了雙等離子源控制、雙進氣系統(tǒng)控制，保證了各種MEMS工藝實現(xiàn)優(yōu)異的均勻性;快速響應的MFC、匹配系統(tǒng)和軟件控制、近距離的gasbox設計，保證側(cè)壁形貌平滑控制。此外，該設備已全面發(fā)布了HSE200S\200C\200L全系列機臺，靈活的系統(tǒng)配置，適合研發(fā)、中試線、大規(guī)模生產(chǎn)線的不同應用，為客戶提供更全面的深硅刻蝕設備工藝解決方案，同時，該設備亦可擴展至2-8英寸先進封裝領域中的深硅刻蝕工藝。借助產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展契機，將引領深硅刻蝕裝備市場的新格局。
一路走來，北方微電子通過以技術創(chuàng)新和新產(chǎn)品開發(fā)立足于半導體裝備解決方案領域，成果豐碩，成功開發(fā)了以刻蝕機、PVD和CVD三大類半導體裝備產(chǎn)品為基礎的20余類產(chǎn)品。此次北方微電子發(fā)布了國際領先的高深寬比深硅刻蝕設備，相信能為客戶帶來更大的驚喜。
新的力量、新的希望正在破繭而出，北方微電子愿意與產(chǎn)業(yè)鏈上下游加強溝通，充分把握新興市場的技術需求，實現(xiàn)技術前瞻性布局，以更先進的差異化技術、更全面的高品質(zhì)服務，與MEMS及新興產(chǎn)業(yè)同仁攜手合作，共同成長，創(chuàng)造共贏產(chǎn)業(yè)生態(tài)環(huán)境。
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