日前，我國首臺代表國際尖端水平的薄膜太陽能電池關鍵生產設備——等離子體增強型化學氣相沉積設備（PECVD）在上海理想能源設備公司（以下簡稱理想能源）成功下線，打破了高端薄膜太陽能電池設備一直被國外廠商壟斷的局面，并有望大幅降低太陽能發(fā)電成本。    

      在生產車間，理想能源總經理錢學煜介紹，一片“1.1米×1.4米”的普通平板玻璃完成導電層覆膜后，進入PECVD反應腔，完成化學氣象材料疊層結構的覆膜，厚度增加了兩個微米，即成為轉化率可達10%的薄膜太陽能電池。    

      據(jù)介紹，代表第二代光伏技術的薄膜太陽能電池是在玻璃、金屬或塑料等基板上沉積很薄的光電材料形成的一種太陽能電池。它在弱光條件下仍可發(fā)電，既可應用于大規(guī)模光伏電站，也可制成柔性及半透明電池，實現(xiàn)真正的光伏建筑一體化應用。這種電池可大幅降低生產過程的能耗，具備顯著降低原料和制造成本的潛力，近年來逐漸成為光伏產業(yè)的熱點。不過，薄膜太陽能電池生產設備復雜昂貴，尤其是關鍵設備PECVD，更是高達上千萬美元，長期以來一直被歐洲、美國和日本的企業(yè)壟斷。目前，生產設備制造成本占我國薄膜太陽能電池發(fā)電成本的7成左右，這導致電力上網(wǎng)價格比傳統(tǒng)電價高出一大截，其產業(yè)化瓶頸十分明顯。    

      近年來，上海積極推進高新技術產業(yè)化，大力扶持光伏設備國產化，并將其作為經濟結構調整和產業(yè)轉型升級的重要舉措。在各方支持之下，2009年8月，留美博士錢學煜與一批設備、工藝、管理專家，在浦東張江高科技園區(qū)成立理想能源公司。一年多里，該公司相繼完成了PECVD首臺機的研發(fā)、中試、下線，并申請了10多項核心技術專利。錢學煜說，該設備采用了創(chuàng)新的超高頻射頻技術，精密的真空和溫度控制技術，快速自動傳輸技術以及多腔多片的反應腔系統(tǒng)等，大大提高了產能，其產品性能優(yōu)于國際一流設備，但價格遠低于同等的進口設備。    

      理想能源的主要投資方之一正泰集團股份有限公司董事長南存輝說，新能源是國家重點推進的戰(zhàn)略性新興產業(yè)之一，光伏產業(yè)前景巨大，但關鍵是光伏上網(wǎng)發(fā)電價格能否與傳統(tǒng)電價持平。掌握核心技術、提高效率、降低成本，是推動光伏產業(yè)可持續(xù)發(fā)展的關鍵。    

      工信部裝備工業(yè)司副司長李東表示，高端薄膜太陽能電池關鍵生產設備的研制成功，為我國新能源產業(yè)的下一步發(fā)展奠定了堅實基礎。