質量流量控制器是一種新型的流量測量和監(jiān)測儀器，也是一種無需溫度和壓力補償即可方便地監(jiān)測管道中不同氣體流動的儀器。其工作原理是將傳感器加熱橋測得的流量信號送至放大器進行放大，將放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，將差分信號放大以控制調節(jié)閥，并對通過通道的流量進行閉環(huán)控制。流量等于設定流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀表配備有穩(wěn)壓電源、數(shù)字電壓表、設定電位計、內外開關和三位閥控開關。它可用于控制不同的清潔和干燥氣體，包括腐蝕性氣體和復雜氣體，但對于使用腐蝕性氣體或復雜氣體，需要正確選擇型號和密封材料。

　　質量流量計(Mass Flow Meter，縮寫為MFM)和質量流量控制器(Mass Flow Controller，縮寫為MFC)用于對氣體的質量流量進行精確地測量或控制。它在包括很多尖端科學和重大應用技術在內的諸多領域以及基礎工業(yè)領域起著非常重要的作用。例如半導體工業(yè)的外延、擴散、氣相淀積、離子刻蝕等工藝。光纖工業(yè)中的光纖預制棒熔煉，石油化工的實驗研究和應用，材料科學與技術的多方面研究和應用，如納米材料的研究、薄膜材料表面技術等;環(huán)境保護的定量取樣，光譜、色譜分析的載氣控制;醫(yī)藥及生物工程;微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量等。

　　質量流量計用于測量氣體的質量流量，其測量值不需要進行溫度和壓力修正。傳統(tǒng)的氣體測量通常采用浮子流量計作為檢測單元、用針形調節(jié)閥作為執(zhí)行單元。這種流量控制方法有其難以克服的缺陷。浮子流量計不僅測量精度較低，而且當測量介質的溫度、壓力發(fā)生波動時，測量偏差較大，且作為執(zhí)行單元的針閥，因為需要手動操作，不能精確地調節(jié)流量，與檢測單元構成有效的閉環(huán)控制。而質量流量計基本不受影響。對于一般的體積流量計，當壓強相對于標準壓強變化0.1MPa時，在相同的流量指示下，其實際的質量流量要變化一倍左右，而質量流量計僅變化0.1%F.S.左右。另外，溫度因素對體積流量計的影響也要大于對質量流量計的影響。

　　質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。其中，流量傳感器是質量流量計和質量流量控制器中的關鍵部件。

　　傳感器的技術性能包括∶對稱性、線性、重復性、靈敏度、溫度漂移等。材料和結構決定了傳感器的性能，而工藝水平更加重要。例如，填料的使用，密封性等。同時，流量傳感器與分流器以及它與放大電路的匹配，都會對流量傳感器的應用產(chǎn)生重要影響。

　　傳感器加熱電橋測得的流量信號被送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與之配套的流量顯示儀上設置有穩(wěn)壓電源、數(shù)字電壓表、設定電位器、內外設轉換開關和三位閥控開關等。