1 深耕氣浮技術(shù)，鑄就行業(yè)標(biāo)桿

　　作為精密運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域的創(chuàng)新者，蘇州直為精驅(qū)在氣浮 平臺(tái)研發(fā)領(lǐng)域擁有多年的技術(shù)積淀。公司組建了由專(zhuān)業(yè)研究 人員領(lǐng)銜的專(zhuān)項(xiàng)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，累計(jì)獲得氣浮導(dǎo)軌設(shè)計(jì)、精密驅(qū) 動(dòng)控制等相關(guān)專(zhuān)利44項(xiàng)，先后為半導(dǎo)體檢測(cè)、激光加工等行 業(yè)提供定制化解決方案。

直為精驅(qū)玻璃基板 TGV 激光打孔氣浮平臺(tái)

　　2 技術(shù)突破：六大核心優(yōu)勢(shì)賦能精密制造

　　(1)納米級(jí)閉環(huán)反饋系統(tǒng)

　　搭載分辨率達(dá)1nm的高精度光柵尺，實(shí)現(xiàn)全行程實(shí)時(shí) 位置反饋。在800mm/s高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下，位置波動(dòng)控制在 ±50nm以?xún)?nèi)，為激光打孔提供穩(wěn)定的基準(zhǔn)坐標(biāo)。

　　(2)無(wú)摩擦氣浮支撐架構(gòu)

　　采用小孔節(jié)流技術(shù)，通過(guò)0.5MPa壓縮空氣形成5μm均 勻氣膜，實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸式運(yùn)動(dòng)。相較于傳統(tǒng)滾珠導(dǎo)軌，摩擦力 降低99.7%，徹底消除機(jī)械磨損導(dǎo)致的精度衰減，設(shè)備MTBF (平均無(wú)故障時(shí)間)提升至20,000小時(shí)。

　　(3)雙驅(qū)同步驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

　　橫梁采用對(duì)稱(chēng)式雙直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)(H橋式結(jié)構(gòu))，通過(guò) 實(shí)時(shí)扭矩補(bǔ)償算法，將兩軸同步誤差控制在±0.5μm以?xún)?nèi)。 配合交叉滾柱軸承導(dǎo)向，實(shí)現(xiàn)800mm/s高速運(yùn)動(dòng)下的亞微 米級(jí)軌跡精度。

　　(4)XY一體式設(shè)計(jì)

　　突破傳統(tǒng)分體式結(jié)構(gòu)局限，采用整體大理石基座與一體 化運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，XY軸垂直度誤差≤±2arcsec。阿貝誤差臂長(zhǎng)縮 短至120mm，較行業(yè)平均水平降低60%，顯著提升小孔徑 打孔的位置一致性。

　　(5)高動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能

　　800mm/s的最大運(yùn)動(dòng)速度與1.2g的加速度，配合50ms 的整定時(shí)間，使單基板加工效率提升40%。特別優(yōu)化的加減 速曲線(xiàn)算法，有效抑制運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的殘余振動(dòng)。

　　(6)超平面度運(yùn)動(dòng)基準(zhǔn)

　　采用精密研磨工藝，平臺(tái)運(yùn)動(dòng)面平面度達(dá)±0.5μm/400mm (全行程±1μm)，直線(xiàn)度±0.5μm/100mm，將外界振動(dòng)干 擾衰減至10Hz以下。

　　3 技術(shù)參數(shù)指標(biāo)

　　4 應(yīng)用場(chǎng)景與價(jià)值

　　在5G射頻模塊、Mini LED顯示背板、車(chē)載雷達(dá)傳感器等 高端制造領(lǐng)域，該平臺(tái)展現(xiàn)出獨(dú)特優(yōu)勢(shì)：

　　· 半導(dǎo)體封裝：支持0.1mm超薄玻璃基板的10μm孔徑 激光打孔，孔位精度控制在±1μm;

　　· 顯示面板：實(shí)現(xiàn)玻璃基板的高密度互聯(lián)通道加工， TGV孔密度較傳統(tǒng)工藝提升3倍;

　　· MEMS器件：滿(mǎn)足硅-玻璃鍵合結(jié)構(gòu)的高精度對(duì)準(zhǔn)要 求，對(duì)準(zhǔn)誤差<±0.5μm。

　　5 結(jié)語(yǔ)

　　直為精驅(qū)玻璃基板TGV激光打孔氣浮平臺(tái)，通過(guò)融合納 米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)與行業(yè)深度工藝?yán)斫?，為精密制造領(lǐng)域提 供了兼具速度與精度的創(chuàng)新解決方案。未來(lái)，公司將持續(xù)推 進(jìn)氣浮技術(shù)的迭代升級(jí)，助力中國(guó)高端裝備制造業(yè)突破技術(shù) 壁壘，邁向全球價(jià)值鏈高端。